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一體式真空機組——集成的真空解決方案

2025-03-21  來自: 廈門太星機電有限公司 瀏覽次數(shù):137

一體式真空機組集成了主泵和前級泵,適用于高真空需求的工業(yè)應(yīng)用,如半導(dǎo)體、光伏、化工等領(lǐng)域。了解其技術(shù)參數(shù)、產(chǎn)品特點及常見問題解答,選擇的真空解決方案。

一體式真空機組

本文詳細介紹一體式真空機組的技術(shù)參數(shù)、產(chǎn)品特點、應(yīng)用領(lǐng)域及常見問題解答,特別聚焦于其集成設(shè)計和廣泛適用性,為高真空需求提供解決方案。

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一體式真空機組產(chǎn)品特點

集成設(shè)計:主泵與前級泵一體化設(shè)計,減少安裝空間,提高系統(tǒng)效率。

高真空性能:極限全壓力低至0.5Pa,滿足高真空需求。

節(jié)能環(huán)保:電機功率優(yōu)化設(shè)計,降低能耗,符合節(jié)能環(huán)保要求。

易于維護:模塊化設(shè)計,便于維護和更換部件,減少停機時間。

廣泛適用性:適用于半導(dǎo)體、光伏、化工、醫(yī)藥等高真空領(lǐng)域。

一體式真空機組技術(shù)參數(shù)

一體式真空機組

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造:用于高真空環(huán)境下的晶圓加工和薄膜沉積。

光伏產(chǎn)業(yè):在太陽能電池板制造過程中提供穩(wěn)定的真空條件。

化工行業(yè):用于高真空蒸餾、干燥和反應(yīng)工藝。

醫(yī)藥行業(yè):在藥品凍干和包裝過程中提供高真空環(huán)境。

科研領(lǐng)域:用于實驗室高真空實驗和設(shè)備測試。

應(yīng)用案例

應(yīng)用領(lǐng)域:半導(dǎo)體制造
使用設(shè)備:JZJLGB1200-5T一體式真空機組
工藝流程:在晶圓薄膜沉積過程中,JZJLGB1200-5T提供穩(wěn)定的高真空環(huán)境,確保薄膜均勻性和產(chǎn)品質(zhì)量。

設(shè)備安裝

詳細說明如何正確安裝一體式真空機組,包括安裝位置選擇、接口連接注意事項以及調(diào)試步驟,確保設(shè)備運行穩(wěn)定。推薦由廠家提供安裝指導(dǎo)。

一體式真空機組常見問題解答

1、一體式真空機組的抽氣速率是多少?
答:抽氣速率根據(jù)型號不同,分別為300 L/s、600 L/s和1200 L/s。

2、一體式真空機組的極限真空度是多少?
答:極限全壓力為0.5Pa,適用于高真空需求。

3、一體式真空機組是否適用于高腐蝕性環(huán)境?
答:需根據(jù)具體型號和材料選擇,部分型號經(jīng)過特殊處理可適應(yīng)高腐蝕性環(huán)境。

4、一體式真空機組的噪音水平如何?
答:采用靜音設(shè)計,噪音水平低,適合對噪音敏感的環(huán)境。

5、一體式真空機組的維護是否方便?
答:模塊化設(shè)計,便于維護和更換部件,減少停機時間。

6、一體式真空機組是否節(jié)能?
答:電機功率優(yōu)化設(shè)計,能耗低,符合節(jié)能環(huán)保要求。

7、一體式真空機組的冷卻水需求是多少?
答:冷卻水壓力為0.2~0.35MPa,流量為10~15L/min,溫度為≤40℃。

8、一體式真空機組的氣體系統(tǒng)參數(shù)是多少?
答:氣體系統(tǒng)壓力為0.05~0.06MPa,流量為20~40L/min。

9、一體式真空機組是否適合半導(dǎo)體制造?
答:是的,適用于半導(dǎo)體制造中的高真空工藝。

10、如何評估一體式真空機組的總擁有成本?
答:綜合考慮設(shè)備價格、維護成本、能耗和使用壽命,推薦選擇可靠廠家提供的產(chǎn)品。


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